DC glow discharge 방전에서의 재질 질문입니다.

2014.02.10 14:52

윤준식 조회 수:3568

안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

다름이 아니라 재질에 대해 질문 드리고 싶은데요,

저는 재질을 스테인리스, 황동, 텅스텐 3종류를 바꿔가면서 방전 실험을 했습니다.

제가 비슷한 글을 찾아본 결과 음극판의 2차 전자방출계수가 높은것 일수록 플라즈마 공간 유지에 좋다고 봤습니다.

그렇다면 재질이 바뀌면 전류-전압 그래프가 서로 다르게 나와야 되는게 아닌가 싶습니다.

하지만 재질을 바꿨을 경우 전류-전압은 그대로인데 풍속만 차이가 있었습니다. 여기서 풍속은 이온풍입니다.

즉 2차 전자방출계수 말고도 다른 요소에 의해서 전류-전압 그래프는 서로 같지만 풍속이 다르게 나오는 것 같습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.

그리고 혹시 괜찮으시다면 양극판에서는 어떤 물성치가 플라즈마 공간에 영향을 주는지 추가적으로 알고 싶습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77228
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
» 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3568
445 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3546
444 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3497
443 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3483
442 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3463
441 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3460
440 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3453
439 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3388
438 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3347
437 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3346
436 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3326
435 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3276
434 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3249
433 CVD 공정에서의 self bias [1] 3209
432 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3201
431 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3168
430 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3073
429 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3068
428 Plasma etcher particle 원인 [1] 3056
427 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3042
쓰기
태그

Boards

XE Login