OES 자료 요청드립니다.

2014.06.12 01:00

ringring 조회 수:6524

안녕하세요?

삼성반도체에서 식각 공정 OES 평가 업무를 하고 있습니다.

진공학회에서 OES자료를 찾다가  필요한 부분이 있어 자료 요청드립니다.

제목 : 광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석  


진공학회 및 DB PIA에서는 1page만 있어  Full ver.이  필요합니다.

참고로 구매를 했는데도 1page만 보이고 있어 메일로 요청드립니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102067
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24541
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61187
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73234
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105448
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3710
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6219
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5914
410 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 694
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 3124
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1754
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1659
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1178
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2863
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28045
403 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1323
402 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2717
401 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4946
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14378
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1342
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1184
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24203
396 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1751
395 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1500
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1808
쓰기
태그

Boards

XE Login