ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]

2014.06.20 14:08

김병인 조회 수:4969

안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 229835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 66147
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 103228
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 115358
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 197245
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown] [1] 5834
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 10666
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 21538
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 3756
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 3968
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 4657
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 3763
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 5052
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 12240
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 4578
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 3683
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 4969
286 자료 요청드립니다. [1] 8864
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 18160
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 4063
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 8305
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 3931
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 5936
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6894
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 11058
쓰기
태그

Boards

XE Login