안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5592
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16868
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64201
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84176
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2387
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9325
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2004
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1754
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2423
286 자료 요청드립니다. [1] 6046
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16413
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3065
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6030
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1317
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3433
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5359
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8298
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3952
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7171
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8344
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7566
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 8714
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6565
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6214

Boards


XE Login