안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102056
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24541
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73234
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105446
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3710
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6219
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5911
410 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 694
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 3123
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1754
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1658
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1178
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2863
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28045
403 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1323
402 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2717
401 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4946
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14378
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1340
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1184
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24203
396 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1751
395 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1500
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1808

Boards


XE Login