Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region
2015.04.22 12:15
학회명 | ICMAP |
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연도 | 2014 |
수상자 | 장윤창 |
상명 | 최우수 포스터상 |
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학회명 | 연도 | 상명 | 수상자 | 제목 |
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