Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9846
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[283]
77242
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20468
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57374
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68904
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92951
606
Self bias 내용 질문입니다.
[1]
883
605
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1]
888
604
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]
896
603
플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다.
[1]
901
602
O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1]
908
601
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
[1]
912
600
Plasma Generator 관련해서요.
[1]
914
599
플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor
[1]
917
598
RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교
[1]
926
597
플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
[1]
943
596
안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다.
[1]
945
595
플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다.
[1]
946
594
상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다
[2]
967
593
O2 Plasma 에칭 실험이요
[1]
971
592
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
[1]
977
591
RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
[1]
985
590
3-body recombination 관련 문의드립니다.
[2]
988
589
Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
[2]
988
588
Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
[1]
988
587
아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다.
[1]
1009
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer