Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9846
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[283]
77222
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20468
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57362
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68902
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92950
326
핵융합 질문
[1]
577
325
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1]
640
324
잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
[1]
1988
323
CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
[1]
7679
322
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2]
1284
321
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
1440
320
SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다.
[1]
5466
319
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1]
6105
318
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4]
8676
317
모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
6120
316
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2]
2535
315
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1]
4024
314
Ar plasma power/time
[1]
1455
313
RPSC 관련 질문입니다.
[2]
4092
312
안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다.
[1]
17637
311
플라즈마 내에서의 현상
[1]
1404
310
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2]
7342
309
플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
[1]
1984
308
N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다.
[1]
11574
307
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1]
4259
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer