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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다!
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다.
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797 |
Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Druyvesteyn Distribution
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795 |
플라즈마 식각 커스핑 식각량
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794 |
Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
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793 |
C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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791 |
새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
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790 |
진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도
[1] | 90 |
789 |
플라즈마 설비에 대한 질문
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788 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
[1] | 98 |
787 |
Non-maxwellian 전자 분포의 원인
[1] | 226 |
786 |
skin depth에 대한 이해
[1] | 179 |
785 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문
[1] | 125 |
784 |
반사파에 의한 micro arc 질문
[2] | 124 |
783 |
ICP에서의 Self bias 효과
[1] | 203 |
782 |
CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다.
[1] | 157 |
781 |
sputtering 을 이용한 film depostion
[1] | 143 |
780 |
Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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