Etch poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
2016.10.21 09:19
아래 그림과 같이 SiN위에 poly 식각을 하려 합니다.
poly 주변에는 산화막이 형성되어있는 상태입니다.
바닥 poly의 damage는 줄이면서 상단 poly만 제거하고 싶은데
효과적인 방법이 있을까요? 조언 부탁드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77210 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68901 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7134 |
305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7340 |
304 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7676 |
303 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7678 |
302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7714 |
301 | MFP에 대해서.. [1] | 7838 |
300 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8078 |
299 | 고온 플라즈마 관련 | 8091 |
298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8132 |
297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8158 |
296 | 핵융합에 대하여 | 8565 |
295 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8585 |
294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8587 |
293 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 8636 |
292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8636 |
291 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8672 |
290 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8775 |
289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8792 |
288 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8811 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8942 |