CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7679

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77250
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20471
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57381
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68907
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92958
326 핵융합 질문 [1] 578
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 641
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1988
» CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7679
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1287
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1441
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5478
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6113
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8685
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6124
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2535
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 4030
314 Ar plasma power/time [1] 1456
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4094
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17647
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1404
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7348
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1984
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11587
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4265

Boards


XE Login