CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7814

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [321] 86461
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22670
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59375
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71134
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98379
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1189
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정] [4] 6695
326 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 717
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 774
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] 2189
» CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 7814
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1437
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1537
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성] [1] 5935
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 6512
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9250
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6333
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간] [2] 2740
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [Sputtering 및 particle issue] [1] 4533
314 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1629
313 RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage] [2] 4434
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법] [1] 18247
311 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1527
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 7724
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2153
쓰기
태그

Boards

XE Login