Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.

2017.01.04 11:49

최찬 조회 수:1979

안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.


지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.


RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.


한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.


혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77091
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20398
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57308
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68850
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92862
501 Ar plasma power/time [1] 1448
500 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1453
499 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1458
498 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1461
497 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1470
496 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1470
495 알고싶습니다 [1] 1474
494 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1474
493 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1477
492 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1482
491 ICP lower power 와 RF bias [1] 1487
490 charge effect에 대해 [2] 1488
489 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1491
488 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1496
487 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1524
486 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1532
485 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1540
484 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1542
483 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1543
482 plasma 형성 관계 [1] 1562
쓰기
태그

Boards

XE Login