Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57165
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6246
326 핵융합 질문 [1] 567
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1961
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1272
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1408
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5265
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5992
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8129
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6069
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2493
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3902
314 Ar plasma power/time [1] 1436
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4008
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17442
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1388
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7224
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1951

Boards


XE Login