Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?

 

이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102090
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24545
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61190
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73246
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105464
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3711
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6222
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5914
410 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 695
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 3125
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1754
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1660
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1178
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2863
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28051
403 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1323
402 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2717
401 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4947
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14378
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1343
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1184
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24203
396 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1751
395 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1502
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1811

Boards


XE Login