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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[278]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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359 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3562 |
358 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3567 |
357 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3568 |
356 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3652 |
355 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3659 |
354 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3720 |
353 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3746 |
352 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3770 |
351 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3815 |
350 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3845 |
349 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 3885 |
348 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3969 |
347 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3970 |
346 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3974 |
345 |
the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문
[1] | 3979 |
344 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 4000 |
343 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 4061 |
342 |
SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문
[1] | 4167 |
341 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 4218 |
340 |
플라즈마 색 관찰
[1] | 4315 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.