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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델]
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성]
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471 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
[3] | 1350 |
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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469 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘]
[2] | 4540 |
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VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS]
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property]
[4] | 2784 |
466 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
[1] | 1400 |
465 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위]
[3] | 1681 |
464 |
상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브]
[2] | 1227 |
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식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]
[1] | 2503 |
462 |
plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소]
[1] | 2632 |
461 |
Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]
[1] | 2602 |
460 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질]
[1] | 4367 |
459 |
charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple]
[2] | 1842 |
458 |
PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]
[1] | 2157 |
457 |
터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]
[1] | 2048 |
456 |
프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
[1] | 869 |
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.