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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
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플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치]
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산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
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수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴]
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자기 거울에 관하여
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
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Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘]
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RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
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Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정]
[2] | 1689 |
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glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성]
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OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature]
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
[1] | 1473 |
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정]
[1] | 681 |
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고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1] | 1308 |
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RF 변화에 영향이 있는건가요?
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코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님]
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응]
[1] | 1132 |
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코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]
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etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정]
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.