안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1193
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 932
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59476
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74173
337 문의 드립니다. [1] 584
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 364
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1051
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1089
» DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 721
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 3423
331 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1100
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 263
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4603
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 574
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 4533
326 핵융합 질문 [1] 328
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 422
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1395
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 6694
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 911
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1105
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 3196
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4149
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 4698

Boards


XE Login