안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [321] 86480
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59378
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71137
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98392
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2355
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3136
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 826
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [Standing wave 및 플라즈마 밀도 분포] [1] 3944
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6750
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 8883
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 2048
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 608
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1079
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 5535
338 가입인사드립니다. [1] 1984
337 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1029
» analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 966
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1515
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1590
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1305
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 6813
331 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1570
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 437
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe] [3] 6288

Boards


XE Login