안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 211968
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 61419
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 98395
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 110430
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 183409
338 가입인사드립니다. [1] 3896
337 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 2707
» analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 5379
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 3488
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 3064
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 3525
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 9773
331 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 2930
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 1281
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe] [3] 8462
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 3270
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정] [4] 8686
326 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 2679
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 2699
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] 4330
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 9391
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 3364
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 2208
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성] [1] 7884
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 9074

Boards


XE Login