ICP 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?

2017.03.31 11:28

메탈 조회 수:1916

안녕하세요. s전자 송용재입니다.

ICP type 챔버과련 문의 드립니다.

1. RF source power(상단)를 인가하게 되면 전기장이 절연체를 통해 투과하여 plasma가 형성이 됩니다.

   책을 보면 플라즈마내 이온의 에너지는 거의 없고 , 전자는 가속이 된다고 하는데..

   전자만 전기장에 영향이 있는건가요?? 아님 전자의 mobility영향에 따른 상대적인 표현인건가요?

2. 저희 회사의 장비는 endura model icp type RF 장비를 사용하고 있습니다.

    RF bias power쪽은 generator - matcher - chamber 로 power가 들어오는데

    RF source power는 generator - resonator - chamber 로 power전달이 됩니다.

    resonator로 source power부분의 reflect power를 조정하는데 어떤 원리로 조정이 가능한건지 궁금합니다.

    오래된 장비다보니 관련 자료를 업체에서 얻을수도 없네요..

    resonator tap이라는걸 이용해 Coil에 감겨있는 거리에 따라 reflect power가 변한다고 하는데 원리를 모르겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77280
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68926
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92984
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2298
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2838
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 694
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3621
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6474
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8645
» 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 475
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 944
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5242
338 가입인사드립니다. [1] 1881
337 문의 드립니다. [1] 886
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 670
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1414
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1443
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1108
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6355
331 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1465
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5983

Boards


XE Login