Ion/Electron Temperature RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
2017.06.06 16:47
RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다 커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?
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