Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor]

2017.09.07 15:11

대구한밭 조회 수:1638

현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.

자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.

근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.

그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요

RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.

이게 왜 그런지 알고 싶습니다!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102103
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24548
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61198
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73271
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105485
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3949
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1206
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1230
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2810
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 781
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1594
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1032
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1144
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1194
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1208
443 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 790
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1961
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 670
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 723
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2470
438 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2070
437 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1602
436 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2879
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4284
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1027
쓰기
태그

Boards

XE Login