안녕하세요 Etch 공정 담당하는 회사원입니다~

장비 Idle 상태에서 Dummy 이용하는데 과학적으로 왜 쓰는지 정확하게 이유를 알고싶습니다..

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373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 625
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371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2576
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2885
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» Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1778

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