Others 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀]

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:784

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102101
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61195
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73266
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105478
493 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2947
492 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2435
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 4201
490 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2544
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달] [1] 5734
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 2398
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1048
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6773
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 2077
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1518
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance] [3] 3721
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 3205
481 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1155
480 wafer bias [Self bias] [1] 1523
479 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1396
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 734
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술] [2] 2638
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1170
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2391
474 PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 33012
쓰기
태그

Boards

XE Login