플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?

로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [257] 76444
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20001
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57074
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91348
377 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 421
376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 683
» 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1311
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 463
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 751
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5666
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2714
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3357
369 활성이온 측정 방법 [1] 566
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1439
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2178
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1697
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2282
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1874
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1854
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 783
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1123
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1256
359 DC bias (Self bias) [3] 11171
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12392

Boards


XE Login