플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?

로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [318] 83710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58908
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70571
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96910
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target] [2] 3138
385 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1125
384 ICP 후 변색 질문 804
383 Plasma etcher particle 원인 [Particle issue와 wafer의 sheath] [1] 3285
382 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAT <-> STAGE HEATER 간 GAP과 DEPO 막질의 THK와의 연관성…. [Plasma property와 process control] [1] 2595
381 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 391
380 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4516
379 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1137
378 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1140
377 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 543
376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 792
» 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1430
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 521
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 874
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [ER과 energy transport] [1] file 6397
371 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2832
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3687
369 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 672
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1594
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load] [1] 2462

Boards


XE Login