플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:472

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2302
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12789
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61094
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78898
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 694
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 734
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 16394
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1066
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1030
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1236
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1108
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 957
391 PR wafer seasoning [1] 2330
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6407
» 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 472
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1396
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1129
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1742
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 749
384 ICP 후 변색 질문 522
383 Plasma etcher particle 원인 [1] 1860
382 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1435
381 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 246
380 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3644

Boards


XE Login