안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.

 

기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.

 

1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?

 

2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요

 

 

3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..

 

 

4. 플라즈마 측정 방법

 

플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다

 

 

 

 

감사합니다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102020
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24528
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61175
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73218
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105414
493 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2945
492 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2435
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 4187
490 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2538
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달] [1] 5719
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 2397
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1044
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6768
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 2075
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1513
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance] [3] 3719
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 3201
481 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1150
480 wafer bias [Self bias] [1] 1523
479 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1396
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 731
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술] [2] 2635
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1170
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2386
474 PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 33009

Boards


XE Login