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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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533 |
O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [Chemical reaction과 pressure]
[1] | 6740 |
532 |
Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity]
[1] | 1820 |
531 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma]
[1] | 2788 |
530 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath]
[1] | 2373 |
529 |
질문있습니다 교수님 [Deposition]
[1] | 22700 |
528 |
CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information]
[1] | 2277 |
527 |
KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion]
[1] | 725 |
526 |
remote plasma 데미지 질문 [DC glow discharge와 Breakdown]
[1] | 14925 |
525 |
RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage]
[3] | 2373 |
524 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance]
[1] | 1927 |
523 |
안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power]
[1] | 8192 |
522 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD]
[1] | 1436 |
521 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI]
[2] | 1462 |
520 |
Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor]
[3] | 4742 |
519 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity]
[1] | 3011 |
518 |
Plasma Dechuck Process가 궁금합니다.
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517 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
[1] | 1396 |
516 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의 [Self bias와 DC offset]
[1] | 4196 |
515 |
간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database]
[1] | 804 |
514 |
matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1] | 12422 |
플라즈마는 이온화된 가스상태이다'라고 정의하는 분도 계십니다.