반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.

전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.


DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.


타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,

1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)

2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출

위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.


알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1689
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5767
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76003
403 Collisional mean free path 문의... [1] 508
402 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1569
401 플라즈마 색 관찰 [1] 2508
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 452
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 672
» DC Plasma 전자 방출 메커니즘 699
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 15885
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1014
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1000
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1202
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1055
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 860
391 PR wafer seasoning [1] 2298
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 5861
389 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 459
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1347
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1068
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1566
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 730
384 ICP 후 변색 질문 496

Boards


XE Login