Plasma in general (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법]

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:662

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.

 

(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.

 

일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.

 

원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.

 

일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....

 

교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.

 

그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.

 

감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 98310
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23864
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60544
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72413
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103132
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6167
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5868
» (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 662
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 3048
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1722
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1625
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1142
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2804
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 27859
403 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1292
402 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2673
401 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4884
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14354
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1303
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1168
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24197
396 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1728
395 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1468
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1773
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1866
쓰기
태그

Boards

XE Login