American Vacuum Society | 2017 | John Coburn and Harold Winters Student Award | Hyun-Joon Roh |
Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for Nitride Thickness in Multi-Layer PECVD
|
ICOPS | 2015 | Outstanding Student Award | Hyun-Joon Roh |
Improvement of Dynamic Range of Electron Energy Probability Function from Two Asymmetrical Collecting Area Probe Data Filtered by Savitzky-Golay and Blackman Window Methods
|
한국반도체디스플레이기술학회 | 2018 | 우수논문상 | 권지원 |
Development of Second Positive System based N2 Collisional Radiative Model
|
AEC/APC Symposium Asia 2021 | 2021 | Student Award | 권지원 |
Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma
|
KAPRA | 2013 | 최우수 포스터상 | 김곤호 외 |
자기탐침을 이용한 대면적 고주파 축전결합형 플라즈마원에서 정상파 효과 측정
|
JK Seminar | 2014 | Silver Award | 김남균 |
Determination of Ion Concentration in a Ar/Xe and He/Ar Filament Discharged Multi-dipole Plasma Source
|
K-J Seminar | 2016 | Best Poster Award | 김남균 |
Observation of Ions’ Motion near a Multi-Ion-Species and Weakly-Magnetized Plasma Sheath
|
ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 노기백 |
Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux
|
한국표면공학회 | 2018 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰
|
KAPRA & KPS/DPP | 2023 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence
|
한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 최우수논문상 | 노현준 |
장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발
|
한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 우수논문상 | 노현준 |
반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개
|
ISSM | 2014 | Student Award | 박설혜 |
Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring
|
KAPRA & KPS/DPP | 2022 | 우수 포스터 발표상 | 배남재 |
고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
|
KAPRA | 2016 | 최우수 포스터 상 | 배병준 |
충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구
|
KAPRA & KPS/DPP | 2021 | 우수 포스터 발표상 | 송재민 |
장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
|
1st International Fusion and Plasma Conference | 2022 | Best Poster Award | 송재민 |
Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process
|
한국반도체학술대회 | 2017 | Best Poster Award | 유상원 |
Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma
|
ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 유상원 |
Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma
|
ISSM | 2018 | Best Paper Award | 유상원 |
Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma
|