| 1st International Fusion and Plasma Conference | 2022 | Best Poster Award | 송재민 |
Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process
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| AEC/APC Symposium Asia 2021 | 2021 | Student Award | 권지원 |
Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma
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| American Vacuum Society | 2017 | John Coburn and Harold Winters Student Award | Hyun-Joon Roh |
Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for Nitride Thickness in Multi-Layer PECVD
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| CAFRE | 2011 | 우수발표상 | 진영길 |
핵융합로공학 선행연구센터 중간 연구결과
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| ICMAP | 2014 | 최우수 포스터상 | 장윤창 |
Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region
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| ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 노기백 |
Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux
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| ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 유상원 |
Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma
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| ICOPS | 2015 | Outstanding Student Award | Hyun-Joon Roh |
Improvement of Dynamic Range of Electron Energy Probability Function from Two Asymmetrical Collecting Area Probe Data Filtered by Savitzky-Golay and Blackman Window Methods
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| ISSM | 2014 | Student Award | 박설혜 |
Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring
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| ISSM | 2018 | Best Paper Award | 유상원 |
Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma
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| JK Seminar | 2014 | Silver Award | 김남균 |
Determination of Ion Concentration in a Ar/Xe and He/Ar Filament Discharged Multi-dipole Plasma Source
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| K-J Seminar | 2016 | Best Poster Award | 김남균 |
Observation of Ions’ Motion near a Multi-Ion-Species and Weakly-Magnetized Plasma Sheath
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| KAPRA | 2013 | 최우수 포스터상 | 김곤호 외 |
자기탐침을 이용한 대면적 고주파 축전결합형 플라즈마원에서 정상파 효과 측정
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| KAPRA | 2016 | 최우수 포스터 상 | 배병준 |
충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구
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| KAPRA & KPS/DPP | 2021 | 우수 포스터 발표상 | 송재민 |
장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
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| KAPRA & KPS/DPP | 2022 | 우수 포스터 발표상 | 배남재 |
고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
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| KAPRA & KPS/DPP | 2023 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence
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| KVS | 2023 | 학부생 포스터 발표상 | 임재민 |
유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석
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| 졸업논문발표회 | 2011 | 최우수논문상 | 장윤창 |
레이저 원자 흡수 분광학을 이용한 대기압 플라즈마 제트의 수산화기 화학적 활성종 형성에 헬륨 준안정성종이 끼치ㅡ는 영향에 관한 연구
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| 한국물리학회 | 2011 | 우수발표상 | 진영길 |
플라즈마 제트와 텅스텐 입자 간 에너지 균형 모델에 의한 입자의 비행 중 열 이력 평가 및 검증 연구
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