안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77111
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20407
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57319
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68860
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92874
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 888
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1137
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 28581
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1396
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2467
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 468
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1129
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6420
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 823
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 592
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 972
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1525
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1180
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5611
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 859
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1715
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2263
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2595

Boards


XE Login