안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.

 

한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?

 

즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?

 

관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232513
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67994
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 105102
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 117291
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199667
438 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 4376
437 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 3006
436 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 4489
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 6093
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 2655
433 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 2995
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 3732
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 1525
430 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 2365
429 자기 거울에 관하여 2268
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 2884
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 5750
426 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 3221
» Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 2647
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 3568
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 2237
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 10594
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 3203
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 2241
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 4085

Boards


XE Login