Others RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]

2018.10.25 14:48

야키소바빵 조회 수:876

안녕하세요 반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.

현재 저희 설비에 2개의 CHAMBER가 달려 있습니다. RPC CLEAN을 사용하는 장비인데

두 CH가 동시에 CLEAN이 동작하게되면 공급단 POWER 관련하여 지속적인 ERROR 가 발생을 합니다.(따로 진행시 문제 없음)

고조파 측정시 2개의 CH가 동시에 CLEAN 진행시 높아지는 현상을 발견 하였으나, 그 원인을 찾기 힘들어 질문 드립니다.

POWER CABLING이 의심 되는 상황이나, CABLE 길이 및 위치, 혹은 말림 정도가 영향이 있는지 문의 드리고, 혹시 이 외에 다른 원인을 추측할만한 내용이 있을지 질문 드립니다.

현재 CABLE 연결 상태 및 POWER SUPPLY(설비단) 교체 등 다른 방법을 진행 해 보았으나, 현상이 동일하게 발생하여 설비단 보다는  공급단쪽 POWER를 의심하고 있는 상태 입니다.

 

혹시 이 글과 관련된 경험이 있으신분은 답변 부탁 드리겠습니다.

감사합니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 100064
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24153
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60787
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104237
433 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1539
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2400
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 612
430 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 788
429 자기 거울에 관하여 1228
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1040
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4314
» RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 876
425 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1115
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1666
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 657
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6233
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1467
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 664
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1292
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17594
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 690
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1107
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 944
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2655
쓰기
태그

Boards

XE Login