Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77200 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20462 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57359 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68898 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92945 |
| 686 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 578 |
| 685 | 활성이온 측정 방법 [1] | 579 |
| 684 | PECVD Uniformity [1] | 590 |
| 683 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 595 |
| 682 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 596 |
| 681 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2]  | 600 |
| 680 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 603 |
| 679 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 605 |
| 678 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 605 |
| 677 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 606 |
| 676 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 606 |
| 675 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 612 |
| 674 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 618 |
| 673 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 619 |
| 672 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 625 |
| 671 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] | 629 |
| 670 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 629 |
| 669 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 630 |
| 668 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 630 |
| 667 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 632 |