Plasma in general 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]

2019.01.09 15:32

훈느 조회 수:930

플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?

carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.

플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만

carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79251
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21266
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69623
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94413
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2150
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2496
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2423
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 3422
459 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1620
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 1708
457 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 1845
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 665
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1532
454 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 868
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3708
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1028
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1084
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2642
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 598
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1404
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 829
» 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 930
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 927
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1048
쓰기
태그

Boards

XE Login