플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?

carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.

플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만

carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16910
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64220
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84245
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 755
451 플라즈마 코팅 [1] 957
450 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2443
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 358
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1016
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 557
» 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 576
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 709
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 704
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 457
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 967
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 303
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 357
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2148
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1121
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1002
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1512
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2554
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 463
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 851

Boards


XE Login