Deposition PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]

2019.03.20 09:00

음월 조회 수:1708

안녕하십니까? 현재 CVD 장비 회사에 재직중입니다.

 

다름이 아니라 PECVD 를 이용한 SiNx 증착 test 중, 두께가 쌓을수록 굴절률이 낮아지는 현상으로

 

많은 고뇌를 하고 있습니다.

 

SiNx 증착에 사용되는 GAS 는 SiH4, Ar, H2, NH3, N2 총 5가지 입니다.

 

원하는 시간에 target 두께의 막은 얻지만, 굴절률이 점점 감소합니다.

(plasma 노출시간에 길어지면 길어질수록 굴절률이 더더욱 감소합니다.)

 

쌓일수록 ETCHING 으로인해 박막이 porous 해질 수 있는지,

 

혹은 특별한 경우가 있는지 여쭙고자 질문드립니다.

 

이상입니다.

감사합니다.

, , , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79239
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58062
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69620
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94407
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2149
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2496
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2423
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 3419
459 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1620
» PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 1708
457 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 1845
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 665
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1531
454 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 868
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3708
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1028
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1084
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2642
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 598
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1404
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 829
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 930
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 927
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1048
쓰기
태그

Boards

XE Login