Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]

2019.05.26 15:39

금자 조회 수:1418

안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.

 

만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109440
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27016
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75926
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109853
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2515
474 PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 33121
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 3042
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성] [1] 4333
» Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1418
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1062
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4666
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 806
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2878
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1454
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1944
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1318
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2662
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2664
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2685
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4706
459 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1899
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2354
457 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 2113
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 929
쓰기
태그

Boards

XE Login