Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77306 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20505 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68952 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92989 |
| 570 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1099 |
| » | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1104 |
| 568 | Plasma Arching [1] | 1104 |
| 567 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1112 |
| 566 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1118 |
| 565 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1126 |
| 564 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1130 |
| 563 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1145 |
| 562 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1151 |
| 561 | 자기 거울에 관하여 | 1152 |
| 560 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1155 |
| 559 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1156 |
| 558 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1157 |
| 557 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1158 |
| 556 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1161 |
| 555 | wafer bias [1] | 1166 |
| 554 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1174 |
| 553 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1175 |
| 552 | 공정플라즈마 [1] | 1175 |
| 551 | 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] | 1182 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.