Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20285 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92715 |
| 799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 12 |
| 798 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 13 |
| 797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 17 |
| 796 | Druyvesteyn Distribution | 22 |
| 795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 30 |
| 794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 35 |
| 793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 60 |
| 792 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 64 |
| 791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
| 790 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 73 |
| 789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 75 |
| 788 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 77 |
| 787 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 81 |
| 786 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 83 |
| 785 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 88 |
| 784 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 95 |
| 783 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 98 |
| 782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 121 |
| 781 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 123 |
| 780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 125 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.