Matcher 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달]
2019.08.06 11:00
matcher를 봤을 때 직렬은 tune 병렬은 load라 튠값으로는 리액턴스를 로드 값으로는 저항성분에 대해 알 수 있다고 알고 있는데요
가끔 로드랑 튠 값이 흔들리고 산포가 좋지 않을 때가 있다합니다. 이렇게 값들이 흔들리는 이유로는 전체적으로 뭐가 있을까요?
또 plasma를 켰을 떄 매쳐의 로드와 튠 값에 영향을 주는 이자들은 무엇들이 있을까요?
본 QA에서 'matcher' 혹은 '매처'로 찾아 보세요. 여러번 설명을 했으니 자료가 제법 쌓여 있습니다. 도움이 되길 바랍니다.
다만 matcher의 역할을 RF 전력을 플라즈마 생성에 최대한 많이 보내기 위한 장치이니 플라즈마와 장비가 만드는 리액터스 값을 상쇄시켜야 RF 파워를 제대로 공급합니다. 여기서 장비는 주로 플라즈마 생성에 필요한 전기장 (가열에너지)를 만드는 방식, 즉 ICP와 CCP에 따라서 다릅니다. 매처가 어떻게 다른지 확인하시면서, 자료를 읽어 보시면 작동 원리를 이해하기가 훨씬 수월할 것 같습니다.