Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2002

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1878
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11069
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2252
500 공정플라즈마 [1] 1136
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2789
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3315
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1146
493 질문있습니다. [1] 2544
» chamber impedance [1] 2002
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3188
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2091
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5019
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1363
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1617

Boards


XE Login