Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2023

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77124
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20417
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57328
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68866
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92887
441 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2009
» chamber impedance [1] 2023
439 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2028
438 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 2032
437 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2038
436 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2044
435 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2079
434 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2115
433 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2130
432 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2132
431 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 2145
430 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2158
429 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2158
428 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2182
427 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2254
426 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2255
425 플라즈마볼 제작시 [1] file 2263
424 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2277
423 etching에 관한 질문입니다. [1] 2291
422 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2292

Boards


XE Login