Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2030

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77225
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
386 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2859
385 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2903
384 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2903
383 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2913
382 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2944
381 RF matcher와 particle 관계 [2] 3036
380 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3040
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 3054
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3067
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3073
376 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3168
375 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3200
374 CVD 공정에서의 self bias [1] 3209
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3249
372 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3276
371 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3326
370 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3346
369 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3347
368 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3388
367 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3453
쓰기
태그

Boards

XE Login