안녕하십니까? 교수님, 

 

ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232060
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67659
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 104761
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 116940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199123
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 3129
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry] [3] 3538
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 4549
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 6745
494 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 2823
493 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 4503
» chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 4704
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 6670
490 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 4788
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달] [1] 7645
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 5104
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 2924
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 8609
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 4969
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 3667
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance] [3] 5056
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 3958
481 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 3446
480 wafer bias [Self bias] [1] 3681
479 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 3112

Boards


XE Login