Others 질문있습니다.

2019.09.30 19:03

sungsustation 조회 수:1266

플라즈마 기초부분에서 에너지 분포와 이온화에 대한 질문입니다.

전자온도와 이온화 에너지가 주어져 있을때 에너지 분포(EEDF)를 이용한다면 전자의 약 %가 이온화에 기여하는지 어떻게 알 수 있는지요?

<구체적인 식이 궁금합니다. 예를 들어 전자온도가 3V , 이온화에너지가 약 15V라 한다면)

일정한 부피에 전자의 갯수가 정해져있을때 온도의  단위가 V(볼트)로 주어진다면 운동에너지를 어떻게 구할 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1664
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 4713
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75925
643 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 67
642 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 90
641 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 102
640 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 124
639 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 124
638 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 165
637 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 175
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 178
635 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 179
634 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 183
633 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 190
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 192
631 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 193
630 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 200
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 200
628 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 208
627 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 208
626 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 210
625 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 210
624 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 211

Boards


XE Login