안녕하세요. 날씨가 점점 더워지고 있는데, 이렇게 꾸준히 답변을 달아주시니 고생많으십니다. 많이 배우고 있습니다.

다름이 아니라, 어떠한 문제점이 발생했는데 궁금증을 해소할 곳이 없어 여기에 글을 올려 문의 드립니다.

저는 절삭공구 업계에서 PVD 코팅분야에 종사하고 있는 연구원입니다. 저희는 양산제품을 코팅로에 장입하고 그 장입 Batch에 따른 코팅품질평가를 하기 위해 이와같은 품질측정용 Insert 공구 시편을 1 Batch에 1 ea씩 넣어 코팅두께, 부착력 등을 평가합니다. 그런데 첨부자료와 같이 PVD Arc 코팅 후 해당 시편표면의 상부면(경면처리)에만 어떠한 무늬가 발생하고 있습니다. 하부면에는 경면처리가 되어 있지 않고 어느정도 폴리싱 처리된 면입니다. (같이 장입된 엔드밀 제품에는 아무런 문제가 생기지 않음)

의문인 점은, 해당 시편을 홀더에 고정시키고 일정한 주기로 회전을 주기 때문에, 결국 앞/뒤 모두 저런 무늬가 나타나야 합니다. 그런데 왜 경면처리된 면만 무늬가 발생할까요?

그리고 이러한 무늬가 발생한다면 에칭공정시 발생한 무늬일까요? 에칭시 주변 지그들의 간섭과 플라즈마의 영향으로 발생한 것 같은데 좀 더 깊이 있는 해답을 찾고 싶습니다. 

처음에는 철사에 메달아서 코팅을 진행했는데, 철사의 간섭으로 발생한 이유로 생각했으나, 철사를 사용하지 않아도 같은 결과가 나타나 의문이 깊어져가고 있습니다.

혹시 해당 원인에 대한 이유로 답변을 받을 수 있을지요.

감사합니다.


첨부문서 : 코팅 전/후 표면상태(pvd-arc). 1부.

번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48587
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49804
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55067
551 Istnieją jej towarzystwem typami, wysokokontaktowej klasie randek new 0
550 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. 7
549 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 40
548 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 38
547 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 53
546 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 48
545 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 136
544 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 71
543 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 154
542 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 185
541 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 225
540 플라즈마 살균 방식 [1] 3976
» 표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD) [2] file 459
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 167
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 163
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 65
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 132
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 194
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 604
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 240

Boards


XE Login