DC glow discharge 플라즈마 살균 방식

2020.06.19 16:13

박희원 조회 수:11415

안녕하세요! 플라즈마 살균에 대해 이번에 대학에서 과제로 발표를 해야하는 학생입니다. 플라즈마에 대해 계속 찾아보고 있는데, 이해가 안가는 부분이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 제가 검색한 바로는 플라즈마 살균(공기청정기)는 고전압플라즈마와 광플라즈마 방식이 있는데, 고전압플라즈마보다 광플라즈마에 맞춰 연구가 많이 되고 있다고 하고, 광플라즈마 특성은 저온에 대기압이고 화학적처리 방식, 오존처리방식, 물리적 처리방식 등이 있다. 

오존처리 방식이 자외선(UVU)를 사용하는 거라는데 맞나요??? 그리고 플라즈마 살균기 동작원리가 궁금합니다. 그냥 외부에 있는 공기를 빨아드려서 내부에서 수산화이온과 산소이온 등으로 분해한후 방출시켜 이온들이 외부에 있는 미세먼지와 바이러스를 제거하는 건가요? 또한 자외선은 어디에 쓰이는 건가요? 이온을 나눌때 사용이 되나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76541
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2229
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3616
» 플라즈마 살균 방식 [2] 11415
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1365
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2342
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 425
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1072
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3114
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1234
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2346
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1878
529 질문있습니다 교수님 [1] 22003
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1697
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 14428
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1889
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1193

Boards


XE Login